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簡(jiǎn)要描述:Nonsequitur 高能離子槍 離子源 真空 1450唐:I582I984229
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品牌 | 其他品牌 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,電氣,綜合 |
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Nonsequitur 高能離子槍 離子源 真空 1450
Nonsequitur 高能離子槍 離子源 真空 1450
可調(diào)光斑尺寸 ≥ 5 微米,用于空間定義濺射或植入
發(fā)射調(diào)節(jié)轟擊提供穩(wěn)定的離子電流
連續(xù)可變的束流能量 5kV 至 50kV
用于束掃描和散光校正的雙倍極
預(yù)目標(biāo)掃描可縮小光斑尺寸
沒(méi)有燈絲與樣品的直接視線,以避免樣品污染
客戶可更換燈絲和光束微調(diào)孔
雙燈絲可在燈絲壽命終止時(shí)提供運(yùn)行備份
所有 UHV 兼容和抗蝕刻材料均用于制造
差分泵送,最大限度地減少主室氣體負(fù)荷
可在惰性氣體和氮?dú)夥秶鷥?nèi)運(yùn)行
參數(shù)信息
輸入功率 115/230VAC 50/60Hz 自動(dòng)選擇
光束能量 0-50,000V,1mA
聚焦,冷凝器 0-40,000V,1mA
燈絲功率 發(fā)射調(diào)節(jié),5V,最大 5A
電離 電子加速電壓和發(fā)射軟件可選
離子萃取 0-2500V 軟件可選
偏轉(zhuǎn) +/-400VDV 電源,用于 +X、-Y、+Y 和 -Y。其余八極元件由電阻分壓器網(wǎng)絡(luò)供電。可選 8 通道偏轉(zhuǎn)電源,具有散光校正和二次電子成像功能
聯(lián)鎖系統(tǒng)和輔助聯(lián)鎖
用戶界面 基于 USB 的圖形用戶界面
機(jī)箱尺寸 483(寬)x 267(高)x 435(深)毫米。19 英寸機(jī)架式機(jī)箱,6U 高
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