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VACOM 真空組件 法蘭 超高真空(UHV)的產(chǎn)生對(duì)材料和連接提出了很高的要求。因此,CF標(biāo)準(zhǔn)是在特高壓技術(shù)(ISO 3669)中創(chuàng)建的。 CF法蘭由CNC機(jī)床上的不銹鋼圓形毛坯制成。旋轉(zhuǎn)法蘭是兩部分的,由帶有密封面的內(nèi)部部分和帶有螺栓孔的外部部分組成。CF法蘭在真空側(cè)有一個(gè)環(huán)形槽,用于容納墊圈和刀口。
VACOM 圓柱室,用于HV,UHV和XHV的真空室,制造具有各種端口和聚焦位置的圓柱形腔室